精密陶瓷制造商
氮化鋁、氮化硅、可加工陶瓷專業生產加工企業
全國服務熱線
13412856568氮化鋁、氮化硅、可加工陶瓷專業生產加工企業
全國服務熱線
13412856568
| 產品名稱 | 多孔陶瓷晶片卡盤 |
| 加工精度 | 0.005mm |
| 是否定制 | 訂制 |
| 粗糙度 | Ra0.8 |
| 材料成分 | 氧化鋁/碳化硅 |
| 我要定制 | 按客戶需求接受定制;歡迎來廠參觀！ |
|
立即咨詢
0769-82913501 |
|
多孔陶瓷晶片卡盤
多孔陶瓷晶片卡盤通常用于在晶片被探測(測試)時將晶片固定在適當的位置。大多數晶片是通過在晶片背面施加少量真空來固定的。大多數分析探測系統配備有晶片卡盤。
晶圓卡盤有多種形狀、尺寸和材料可供選擇。它們通常是圓形的，比晶片尺寸稍大。常見的尺寸范圍從直徑50毫米到超過300毫米。大多數卡盤具有圓形(同心)環真空設計，并且通常會夾持小管芯、部分晶片和整個晶片。例如，150毫米(6英寸)卡盤將具有真空環圖案，允許您夾持單個芯片、50毫米、75毫米、100毫米和150毫米晶圓。
大多數卡盤由鋁制成，并鍍有鎳或金。有時卡盤由多孔陶瓷制成，可以是方形的，并具有真空孔圖案而不是真空環圖案。大多數卡盤的平整度規格在+/- 4微米到+/- 8微米之間。
卡盤通常是為特定的應用而制造的。有常溫卡盤、高頻/微波卡盤、大功率(高壓或大電流)卡盤、雙面卡盤和熱卡盤。定制卡盤并不少見。
