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porous chuck wafer多孔陶瓷晶圓吸盤
  • porous chuck wafer多孔陶瓷晶圓吸盤
產品名稱

porous chuck wafer多孔陶瓷晶圓吸盤

加工精度 0.01mm
是否定制 訂制
粗糙度 Ra0.8
材料成分 氧化鋁
我要定制 按客戶需求接受定制;歡迎來廠參觀!
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porous chuck wafer多孔陶瓷晶圓吸盤

類型:多孔陶瓷+不銹鋼或氧化鋁陶瓷
尺寸:標準 6 到 12 英寸尺寸(可根據要求定制尺寸)
形狀:圓形/方形/矩形……
目數:標準#600(也可開發其他粒度要求。)
陶瓷顏色:灰色/米色
特點:孔隙率好,精度高

porous chuck wafer多孔陶瓷晶圓吸盤

 多孔陶瓷由像海綿一樣從內部連接到表面的連續孔形成。這種技術有很多名稱,例如多孔陶瓷真空吸盤或卡盤。夾持面利用真空將被附著物體用大氣壓固定。這與吸盤的原理相同。傳統的解決方案使用用于空氣的通道,例如通過機械加工形成的凹槽或孔。這會導致薄膜變形和薄產品被吸入凹槽或孔洞等問題。我們的多孔陶瓷在整個表面上都有微米級的孔,可以均勻粘附而不會變形固定物體。

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